VME/VPX控制系统

• MC运动控制卡

• PPC单板计算卡

• PSC功率控制与信号采集卡

• 激光干涉仪轴卡

信号与驱动模块

• SEC600 - 主动减振控制器

• RF8K - 高分辨率光栅传感

• IDS_B03-高速数采模块

精密位移传感器

• 电涡流位移传感器

SEC610 - 实时仿真机

压电驱控

RE-400型高压差分放大器

高压电源模块

微行程 - 压电直驱模组

中行程 - 压电柔性放大平台

大行程 - 压电尺蠖电机

偏转台与快反镜

压电惯性电机、螺杆

尺蠖电机模组

压电陶瓷叠堆与流延片